เมื่อทำการติดตั้งห้องและอุปกรณ์ต่างๆ ของห้อง CLEANROOM เสร็จเรียบร้อยแล้ว จำเป็นต้องมีการทดสอบ PARAMETER ต่างๆ เพื่อยืนยันว่า CLEANROOM ดังกล่าว สามารถ OPERATE ได้ตาม CONDITION ที่ออกแบบไว้ โดยแยกเป็น 3 ขั้นตอนดังนี้
เป็นการทดสอบ PARAMETER ห้อง CLEANROOM ที่ว่างเปล่า โดยที่ยังไม่มีเครื่องจักรและอุปกรณ์ผลิตใดๆ
ทดสอบห้อง CLEANROOM ที่ห้อง CLEANROOM นั้น ได้ผ่านการทดสอบ AT-BLUIT CONDITION แล้ว และมีการติดตั้งเครื่องจักรตลอดจนอุปกรณ์ต่างๆ ในการผลิตเรียบร้อยแล้ว
ทดสอบ CLEANROOM ใน CONDITION ที่มีการผลิต
การทดสอบ PERFORMANCE ของระบบห้อง CLEANROOM ประกอบไปด้วยรายละเอียด ดังนี้ :-
- การทำ LEAK TEST เพื่อทดสอบการรั่วของ HEPA หรือ ULPA FILTER ซึ่งเกิดจากโรงงาน, ผู้ผลิตหรือจากการติดตั้ง เพื่อทดสอบการรั่วของ HEPA หรือ ULPA FILTER ซึ่งเกิดจากโรงงาน, ผู้ผลิตหรือจากการติดตั้ง
- การทำ FLOW TEST เพื่อทดสอบการ BALANCE ของ AIR FLOW
- การวัดค่าอุณหภูมิ เพื่อยืนยันว่าอยู่เกณฑ์ที่กำหนดไว้ในข้อมูลการออกแบบ
- การทดสอบและยืนยัน ค่าความชื้นสัมพัทธ์ในอากาศ
- การทดสอบและยืนยัน แรงดันของอากาศภายในห้อง
- การทดสอบและยืนยัน ความเข้มของแสงสว่าง
- การทดสอบและยืนยัน ระดับเสียง